الشکل الهندسی الأمثل لأقطاب الحارفة الکهروستاتیکیة فی المجهر الالکترونی الماسح

القسم: بحث
إصدار
مجلد 27 عدد 2 (2018): المجلد 27 العدد 2
منشور
Jun 1, 2018
##editor.issues.pages##
153-163

الملخص

تمّ فی البحث تصمیم الحارفات الکهروستاتیکیة الرباعیة ذات المرحلتین و دراستها. تناول البحث ثلاثة أشکال هندسیة مختلفة من الأقطاب الکهربائیة؛ المستویة والمقعرة و المحدّبة. تمّ اجراء مقارنة واسعة بین هذه الأقطاب الکهربائیة باستخدام طریقة العناصر المتناهیة المغناطیسیة (FEMM) لتحلیل خواصّها. تم اختیار الشکل الهندسی المنتخب من بین الأشکال المدروسة لیستخدم کقطب کهربائی فی الحارفات الکهروستاتیکیة داخل العدسة الشیئیة للمجهر الالکترونی الماسح (SEM) ذی الفولتیة الواطئة لتوجیه حزمة الجسیمات المشحونة الإلکترونیة المارّة من خلال المحور البصری للعدسة باتجاه العیّنة المفحوصة

المؤلفون

رافع يونس جاسم
منى عبد الكريم الخشاب

المعرفات

https://doi.org/10.33899/rjs.2018.145401

الإحصائيات

كيفية الاقتباس

يونس جاسم ر., & عبد الكريم الخشاب م. (2018). الشکل الهندسی الأمثل لأقطاب الحارفة الکهروستاتیکیة فی المجهر الالکترونی الماسح. مجلة علوم الرافدين, 27(2), 153–163. https://doi.org/10.33899/rjs.2018.145401