تصمیم الشکل الهندسی للذراع الحدیدی فی العدسة الکهرومغناطیسیة المکثفة-الشیئیة

إن تحسین ترکیب القطب الرئیسی والشکل الهندسی للذراع الحدیدی فی العدسة المغناطیسیة ثنائیة القطب اللامتناظرة والتی تعمل بوصفها عدسة مکثفة-شیئیة أدى إلى أمکانیة تصمیم عدسات المجهر الالکترونی بقدرات تحلیل عالیة جدا.تناول البحث فی ثلاث مراحل تصمیم عدسة بخواص فضلى من خلال تصمیم شکل هندسی أمثل للذراع الحدیدی الذی یحقق أعلى ذروة فیض للمجال المغناطیسی وأقل معامل زیغ کروی عندما تعمل العدسة بفولتیة التشغیل المصححة نسبیاً (Vr=200 kV) وتهیج ثابت (NI=10.5 kA-t). فی المرحلة الأولى تمت دراسة سمک الذراع الحدیدی فی العدسة، وفی المرحلة الثانیة وضع تخصر فی الذراع الحدیدی وتمت دراسة تأثیره فی الخواص البصریة للعدسة، أما المرحلة الثالثة فاقتصرت على دراسة تأثیر بعد موقع التخصر عن المحور البصری على أداء العدسة. وتم احتساب توزیع کثافة المجال المغناطیسی، ومسارات خطوط الفیض المغناطیسی فی ترکیب العدسة، وخواصها البؤریة للمراحل الثلاث لتشخیص العیوب وتحسین الشکل الهندسی للذراع الحدیدی والأداء البصری، وتم اختیار القیم المثلى للخواص البؤریة الشیئیة للعدسة المقترحة. ووجد ان معامل البعد البؤری یتناسب تناسباً عکسیاً مع السمک وان أفضل عمق للتخصر یساوی(dpw=13 mm) فضلاً عن موقعه (h=35 mm) الذی اعطى افضل قدرة تحلیل للعدسة(δ= 0.2 nm).وقد تمت مقارنة النتائج للبحث الحالی مع نظیراتها من البحوث المنشورة ووجد أنها تتفق تماما.